Melhore o desempenho do produto e a eficiência da mistura, aumente a confiabilidade e reduza os custos de fabricação, aproveitando a impressão direta de metal para produzir com fatores de forma otimizados e caminhos de gás mais eficientes
20:1
de redução de componentes
100%
à prova de vazamentos
3 x
mais eficiente

Reduza o número de peças enquanto melhora o transporte de gás e a eficiência da mistura

A 3D printed Gas Mixer

Seção cruzada impressa em 3D de metal de um misturador de gás com resfriamento ativo

O transporte de gás cáustico em uma câmara de processo selada é típico em sistemas de processamento úmido, tais como limpeza e gravação de equipamentos semicondutores essenciais. Portanto, o transporte eficiente de gases, quer eles precisem permanecer separados ou misturados, sem vazamentos, turbulência de fluxo limitada e através de aberturas mínimas na câmara de processo, é essencial. Isso envolve misturadores de gás complexos e de multicomponentes e conjuntos de alimentadores feitos de materiais resistentes a gases corrosivos.

Tudo isso pode ser otimizado utilizando soluções de impressão 3D direta de metal e a experiência em equipamentos semicondutores da 3D Systems. Os sistemas de transporte de gás podem ser projetados com menos componentes para caber em espaços menores com maior confiabilidade. Além disso, misturadores de gás otimizados e com maior complexidade podem ser desenvolvidos em muito menos tempo para proporcionar misturas mais eficazes, com maior rapidez. 

Os benefícios da fabricação de aditivos metálicos

  • Semiconductor Design Flexibility - Gas Conveyance

  • Flexibilidade de design

    A fabricação de aditivo torna possível projetar e rapidamente iterar e fabricar alimentadores e misturadores de gás em espaços apertados, com caminhos de gás modelados numericamente que transportam de forma confiável e misturam eficientemente os gases em direção à câmara de processo.

  • Semiconductor Clean Room Environments

  • Alta qualidade e precisão para ambientes de sala limpa

    A alta qualidade do material, os detalhes finos e a precisão das peças produzidas em uma atmosfera inerte com um nível de oxigênio estável e ultrabaixo — em combinação com processos exclusivos para limpeza ideal de partículas — resultam em peças de metal que atendem aos requisitos de sala limpa e são adequadas para uso em equipamentos semicondutores.

  • Background image

  • Desempenho e produtividade

    Uma redução na turbulência do fluxo de gás permite uma distribuição precisa e uniforme dos gases de limpeza e gravação, aumentando a eficiência geral do sistema e o rendimento para processar mais wafers. A fabricação de aditivo também oferece flexuras estruturalmente otimizadas com montagens e contagens de peças reduzidas. A substituição de montagens de várias peças por peças monolíticas aumenta a confiabilidade, melhora o rendimento da fabricação e reduz os custos de mão de obra.

Otimização do transporte e mistura de gás

  • Improve Gas Flow Efficiency - Gas Conveyance

    Aumente a eficiência do fluxo de gás

    A fabricação de aditivo oferece aos engenheiros de equipamentos semicondutores uma flexibilidade de design sem precedentes. Eles conseguem descobrir novos padrões internos, formas de bicos e câmaras de mistura, otimizando assim o fluxo de gás e a mistura para o máximo desempenho e eficiência.

  • a technician holding a wafer

    Aumente a confiabilidade

    A fabricação de aditivo oferece alimentadores e misturadores de gás estruturalmente otimizados com montagens e número de peças reduzidos. Isso aumenta muito a confiabilidade dos componentes ao eliminar vazamentos de fluido nas conexões sob as mais altas temperaturas e pressões operacionais para uma maior integridade dos componentes.

  • Semiconductor Gas Mixer with ruler

    Reduza o volume

    Paredes mais finas e consolidação de componentes proporcionam integridade à prova de vazamentos e permitem uma funcionalidade mais eficiente em uma embalagem de tamanho menor. Produza características multieixos e volumes retidos com facilidade significativa em comparação com os processos tradicionais de fabricação.

Recursos

  • Semiconductor ebook cover

    Adote e dimensione com rapidez a fabricação aditiva em metal

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  • Silicon Wafers and Microcircuits sitting on a robot arm

    Fabricação de aditivo para equipamentos semicondutores essenciais

    Descubra como a fabricação de aditivos metálicos da 3D Systems pode oferecer aos fabricantes e fornecedores de equipamentos semicondutores essenciais os recursos necessários para melhorar o desempenho, a produtividade e a confiabilidade.

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  • Grupo de Inovação de Aplicações

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